[发明专利]具有石英底座的精密陶瓷工作台在审
| 申请号： | 202010321074.0 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113547225A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 余俊荣 | 申请（专利权）人： | 鸿鎷科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精密陶瓷工作台，包含：多通孔精密陶瓷盘以及石英底座。多通孔精密陶瓷盘为多孔，且多通孔精密陶瓷盘的该上表面为工件吸附面。多通孔精密陶瓷盘为箝置于石英底座。该石英底座的至少部分的表面为经抛光处理，以避免激光的能量对石英底座造成破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 石英 底座 精密 陶瓷 工作台 | ||
【主权项】：
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