[发明专利]特种工件镀膜控制系统有效

专利信息
申请号: 202010321985.3 申请日: 2020-04-22
公开(公告)号: CN111621763B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 李星;钟玉盛;姜翠宁 申请(专利权)人: 广东生波尔光电技术有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/50;C23C14/56
代理公司: 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 石仁
地址: 528400 广东省中山市板芙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例公开了一种特种工件镀膜控制系统,至少包括:主控制单元;90°翻转输送驱动单元,驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转;自动抓取移载驱动单元,驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件;180°翻转驱动单元,对移载至其上的工件进行第一次180°翻面或第二次180°翻面;自动控制系统,控制四工位平移升降装置;真空镀膜控制系统,控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。本发明实施例,通过本控制系统,至少可将90°翻转装置、自动抓取移载装置、180°翻转装置、四工位平移升降装置、真空镀膜设备按镀膜工序全自动控制起来,实现工件镀膜全自动化处理,自动化程度高。
搜索关键词: 特种 工件 镀膜 控制系统
【主权项】:
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