[发明专利]一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010323013.8 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111537921B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘明;胡忠强;周子尧;王志广;吴金根;程苗苗 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01R33/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法，包括悬臂梁、声表面波器件、磁致伸缩薄膜和磁性质量块；声表面波器件设在悬臂梁上方，磁性质量块位于悬臂梁的自由端；磁致伸缩薄膜位于声表面波器件上方；声表面波器件包括压电薄膜和叉指电极；压电薄膜设置在悬臂梁上表面，若干叉指电极设置在压电薄膜上。本发明提供了一种悬臂梁式MEMS磁传感器。不同于传统的声表面波磁传感器，引入了带磁性质量块的悬臂梁，这种结构不仅通过磁扭矩效应，提高了灵敏度，而且采用了MEMS工艺，制备的传感器体积小，有利于高度集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 mems 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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