[发明专利]一种晶圆装载杯有效
| 申请号： | 202010323559.3 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111469046B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;孟松林;赵慧佳 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：同轴设置于所述装载杯中心的托架，该托架具有圆圈状的环形边缘用于承接卸落的晶圆；同轴设置于所述托架圆周外围的支撑卡圈，用于支撑和/或定位晶圆承载头，所述支撑卡圈的顶面设置成高于所述托架的顶面；以及，设置于所述支撑卡圈的至少一个喷嘴，其设置成以非水平的方式向上或向下倾斜朝所述装载杯的中心轴线方向喷射流体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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