[发明专利]用于获取超高真空的真空系统及方法在审
| 申请号： | 202010324159.4 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111394711A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 马杰;武寄洲;刘文良;李玉清;郑宁宣;肖连团;贾锁堂 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14112 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 030006*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及超高真空系统，具体是一种用于获取超高真空的真空系统及方法。本发明解决了现有超高真空系统真空度不够高的问题。用于获取超高真空的真空系统，包括真空腔、钛升华泵、角阀、涡轮分子泵、离子规、充气阀、氮气源、溅射离子泵、三通管；其中，真空腔为圆筒形结构；真空腔的顶壁中央开设有一个抽真空接口，该抽真空接口与钛升华泵连通；真空腔的侧壁上部开设有一个抽真空接口，该抽真空接口通过角阀与涡轮分子泵连通；真空腔的侧壁上部还开设有一个测量接口，该测量接口与离子规连通；真空腔的侧壁中部开设有一个充气接口，该充气接口通过充气阀与氮气源连通。本发明适用于各种对真空度有较高要求的物理、化学实验。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 获取 超高 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
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