[发明专利]一种叉指电极的制备方法及其在光电探测领域的应用

摘要

本发明属于半导体探测技术领域，尤其涉及一种叉指电极的制备方法及其在光电探测领域的应用。本发明提供了一种叉指电极的制备方法，为：叉指电极基底的表面滴加白碳悬浮液后，干燥得叉指电极。本发明还提供了一种上述制备方法得到的叉指电极在光电探测领域中的应用。本发明中，白碳涂覆于电极基底后制得的传感器，在室温下对深紫外光具有开光比大、响应性好的优点，在高温下对深紫外光具有灵敏度高、响应及恢复时间快的优点；进一步地，经检测，对于不同的应用场景均具有较强的适应性，尤其是在高温环境中的应用。本发明提供的技术方案，解决了现有技术中，半导体紫外光探测器存在灵敏度不够高及无法在恶劣环境中稳定工作的技术缺陷。