[发明专利]一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法

摘要

本发明公开了一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法，该方法通过模版制备来完成红外焦平面器件铟凹型的工艺制备。模版制备方法是在白宝石片上用涂布厚光刻胶，曝光和显影刻出图形，镀上金属铬层和金层，淀积金属锡层，完成金属锡柱阵列的工艺制备。在金属锡柱阵列的基础上通过加热锡柱回熔，提拉形成锡尖状阵列。该发明特点是：锡尖状阵列在厚白宝石片的衬底下制成模板，更好的解决了红外焦平面器件在铟凹型工艺中的应用，满足了焦平面器件的互连工艺要求。