[发明专利]真空载片装置及真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202010325254.6 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111334772A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李王俊;陈晨 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22;C23C16/458;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 孙海杰 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空载片装置及真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域，所述真空载片装置包括：腔体、载片架和分气模组，所述载片架和所述分气模组均位于所述腔体内部，且所述载片架和所述分气模组沿第一方向依次设置；所述分气模组包括进气口和出气口，以及连通进气口和出气口的通道，所述进气口与外界气源连通，以使外界的气体能够通过所述分气模组进入到所述腔体内部，所述出气口设置在所述分气模组的侧壁上，所述出气口朝向所述载片架的周向外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 空载 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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