[发明专利]蚀刻组合物及使用该蚀刻组合物的蚀刻方法有效
| 申请号： | 202010325267.3 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111849486B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李惠熹;朴贤宇;李明镐;宋明根;姜弼求;崔胤洵;洪文基 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司;爱思开海力士有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/311 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供蚀刻组合物及使用该蚀刻组合物的蚀刻方法，所述蚀刻组合物包含硫酸、过氧化氢、以下述化学式1表示的有机过氧化物及水，所述有机过氧化物相对于所述蚀刻组合物总重量包含0.001至3重量％。更详细而言，本发明提供一种选择性地蚀刻氮化金属膜的蚀刻组合物、使用该蚀刻组合物的氮化金属膜的蚀刻方法及包括使用其进行的工序的微电子元件的制造方法。本发明的蚀刻组合物有效地控制金属膜的蚀刻率的同时，可以选择性地蚀刻氮化金属膜。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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