[发明专利]一种超低浓度快速切换的动态配气系统在审
| 申请号： | 202010325402.4 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111366444A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王丽丽;徐玉晴 | 申请（专利权）人： | 南京多萝西信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/38 | 分类号： | G01N1/38;G01F1/76;B01L3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210012 江苏省南京市雨花台区西善桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超低浓度快速切换的动态配气系统，包括液体源或气体源(10)、背景气体(20，30)、真空发生器(11)、压力和流量控制器(12)、微流体流量传感器(14)、微流控芯片(15)、气化室(40)、混气罐(50)、质量流量控制器(22，32)、检测室(60)、吹扫装置(61)、传感器(63)、数据采集装置(70)、多个阀门以及用于各部件之间气体传输的管路；背景气体(20)为稀释气，与气体源或液体源混合成为目标气体；背景气体(30)为吹扫气，与目标气体在检测室(60)内进行交替循环切换，同时，吹扫装置(61)对气体进行快速吹扫；数据采集装置(70)采集数据，从而研究所述传感器(63)的响应和恢复特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浓度 快速 切换 动态 系统 | ||
【主权项】：
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