[发明专利]先进的基于压力的质量流量控制器和诊断在审
| 申请号： | 202010326666.1 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111857193A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 阿伦·纳加良;丹尼尔·穆德;穆罕默德·萨利姆 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于控制流量的质量流量控制器包括控制器、阀组件、以及至少一个压力传感器、阀位置传感器和温度传感器；其中，这些传感器中的至少一个是基于半导体的传感器。该阀组件与至少一个上游位置和至少一个下游位置流体连通。该至少一个压力传感器与该至少一个上游位置和该至少一个下游位置流体连通。该阀组件可以包括至少一个压电阀或电磁阀。该控制器与该阀组件和至少一个传感器可通信地联接。该控制器确定以下各项中的至少一项：压力；位置；以及温度。该控制器进一步基于实际流体流量以及该压力、位置、温度和预定值中的至少一个而对阀行程进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 先进 基于 压力 质量 流量 控制器 诊断 | ||
【主权项】：
暂无信息
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