[发明专利]平坦化方法在审
| 申请号： | 202010327549.7 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111554799A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 吕丽英;黎家健;吴一雷 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王毅 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平坦化方法，能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀，待加工产品开设有填充氧化物的腔体且包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层，第一电极层覆盖腔体且包括位于第一电极层周边的第一斜面部，压电层覆盖第一电极层且在其表面形成第二斜面部，第二电极层覆盖部分压电层且包括位于第二电极层周边的第三斜面部，平坦化方法包括：在第二电极层沉积钝化层，钝化层覆盖住第二电极层和压电层，钝化层具有第一平面部、设于第一平面部外围的第四斜面部和自第四斜面部延伸的第二平面部，第一平面部沿竖直方向上的投影覆盖腔体，第四斜面部沿竖直方向的正投影落在腔体外；对钝化层全面刻蚀，直至钝化层的厚度减薄至所需厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 方法 | ||
【主权项】：
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