[发明专利]一种电磁式微镜结构及制备方法在审
| 申请号： | 202010329766.X | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111367072A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;梁泽山 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种电磁式微镜结构，包括无磁性基底晶圆，盖板晶圆，悬臂梁结构，铁磁性镜面，晶圆键合界面层，吸气薄膜，空腔，电磁铁，金属片；其中：无磁性基底晶圆与盖板晶圆之间带有晶圆键合界面层，铁磁性镜面设置在悬臂梁结构上，吸气薄膜设置在盖板晶圆内，电磁铁和金属片设置在盖板晶圆外部。一种电磁式微镜结构的制备方法，无磁性基底晶圆，由硅、砷化镓或玻璃等无磁性材料组成；盖板晶圆，能通过光信号；铁磁性镜面，经过剖光处理，能反射光信号。本发明的优点：通过电磁铁影响磁性镜面和悬臂的翘曲角度，改变通过盖板晶圆摄入的光线的方向，实现光信号的传输。磁性镜面和悬臂，电磁驱动控制，偏转角度最大可达45度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 式微 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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