[发明专利]高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备方法有效
| 申请号： | 202010330888.0 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111564348B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 周意;吕游;王旭;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;邵明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J43/04;G01T1/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备方法，包括：步骤S1：制备基材层；步骤S2：制备读出电极PCB；步骤S3：将步骤S1制备的基材层与步骤S2制备的读出电极PCB通过Pre‑preg层粘接；步骤S4：制备导电过孔；步骤S5：刻蚀基材层至DLC上表面形成井型放大孔阵列；以及步骤S6：移除导电过孔上表面附近的铜层，完成高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 计数 率阻性微井型 探测器 放大 单元 制备 方法 | ||
【主权项】：
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