[发明专利]一种耐腐蚀防护薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202010331093.1 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN111441016B 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 胡明;伏彦龙;王德生;姜栋;王琴琴;杨军;孙嘉奕;翁立军 申请(专利权)人: 中国科学院兰州化学物理研究所
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/16;C23C14/58;C23C14/02;C23C14/54
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 马小星
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明提供了一种耐腐蚀防护薄膜及其制备方法和应用,属于防护材料领域。本发明提供的耐腐蚀防护薄膜为多层结构,由基体表面至薄膜表面依次为金属M层、金属M与M2O5混合过渡层和M2O5层;所述M为V、Nb或Ta;所述耐腐蚀防护薄膜的制备方法,包括以下步骤:在基体表面采用离子镀方法沉积金属M,在基体表面形成金属薄膜;所述M为金属钒、铌或钽;采用原子氧束流辐照所述金属薄膜,在基体表面原位形成耐腐蚀防护薄膜;所述原子氧束流能量为4~10eV,辐照时间为60~180min。本发明提供的制备方法简单,容易操作,且制备得到的防护薄膜能够有效提高基体的抗腐蚀性能。
搜索关键词: 一种 腐蚀 防护 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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