[发明专利]气体输运管路、控制气体输运的方法及半导体设备有效
| 申请号： | 202010333273.3 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111524778B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陈景春;张宝辉 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/305;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体输运管路、控制气体输运的方法及半导体设备，其中，气体输运管路包括：至少两个供气管路，供气管路的一端与气源连通，另一端与反应腔室的入口连通，供气管路上设有第一控制阀、第二控制阀以及设置在第一控制阀和第二控制阀之间的管路控制元件；管路控制元件和第二控制阀之间的管路组成气体暂存管路；第一控制阀，设于气源与管路控制元件之间，用于控制气体从气源连续性地进入气体暂存管路；管路控制元件，用于控制气体按照设定流量输入气体暂存管路；第二控制阀设于气体暂存管路的出口处，用于控制气体暂存管路内的气体间断性地供给反应腔室。本发明在气体非反应时段对气体进行暂存，避免了工艺气体的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 输运 管路 控制 方法 半导体设备 | ||
【主权项】：
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