[发明专利]一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法

摘要

本发明公开了一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法，主要涉及单晶制绒领域，包括预清洗、制绒、圆角化处理、氢氟酸清洗、慢拉提和烘干等步骤，其中在圆角化处理工序中，综合了硝酸CP和臭氧CP各自的特点；使用本发明的方案对制绒后的硅片进行金字塔圆角化处理，使金字塔顶和金字塔谷都得到了圆滑，在沉积非晶硅薄膜时可以降低缺陷态密度，提高硅片的钝化质量和少子寿命，从而获得更高的电池转换效率。