[发明专利]一种硅太阳能电池的表面钝化处理方法和系统

摘要

本申请提供了一种硅太阳能电池的表面钝化处理方法和系统，具体为在经过在先工艺流程处理后的硅片基底上制备氧化硅薄膜；在氧化硅薄膜上制备氧化铝薄膜；在氧化铝薄膜上制备含氢介电材料薄膜。由于氧化硅薄膜能够修复部分硅表面的悬挂键，并且能够作为缓冲层，减少在氧化铝薄膜制备过程中原子的轰击产生的损伤，使硅片基底和钝化层界面具有较低的界面态缺陷密度水平，也就无需通过退火工序降低界面态缺陷密度。由于无需退火工序，从而降低了工艺成本和设备投资，还减少了因工艺复杂程度对大规模量产的良率控制产生的不良影响。