[发明专利]复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法在审
| 申请号： | 202010334963.0 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111573616A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵琳;李锁印;梁法国;邹学锋;冯亚南;韩志国;张晓东;许晓青;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 柳萌 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法，属于微纳米计量技术领域，包括具有深度和宽度尺寸的沟槽结构、正交扫描定位结构、切片定位结构、定位角结构以及沟槽定位结构；正交扫描定位结构、切片定位结构以及沟槽定位结构均分设于沟槽结构的长度方向的两侧，定位角结构设于标准样板的四角；沟槽的深宽比大于等于10:1。本发明提供的复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法，能够准确测量沟槽或台阶标准样板的宽度和深度，同时复现测量过程中两个参数结果之间存在的影响，提高测试数据的准确性，降低标准样板的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 复合型 高深 沟槽 标准 样板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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