[发明专利]一种低杂质多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 202010336817.1 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111394790B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张发云;饶森林;陈小会;熊含梦;王发辉;黄雪雯 | 申请（专利权）人： | 新余学院 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 何耀煌 |
| 地址： | 338004 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明的一种低杂质多晶硅铸锭炉，属于多晶硅铸锭领域，具有铸锭炉体、隔热笼、热交换台、石英坩埚、坩埚底板、石墨护板、石墨加热器、石墨支撑腿、侧部保温毡、顶部保温毡、底部保温毡、钼制盖板、用于调节钼制盖板的盖板调节装置、实现氩气在石英坩埚上方水平层流运动的进气管装置、贴合在侧部保温毡四周底部的组合保温块、固定在底部保温毡四周边缘端部且与组合保温块相适配固定的挡热毡、以及用于封闭或开启底部保温毡开口处的热源调节毡装置。能够制备低杂质多晶硅定，应力和位错少，提高多晶硅产品的整体质量以及少数载流子寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 杂质 多晶 铸锭 | ||
【主权项】：
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