[发明专利]一种具有离子液体栅极的器件及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010338523.2 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113555435A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李沛岭;刘广同 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/51;H01L29/423;H01L29/10;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 关艳芬 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有离子液体栅极的器件及其在沟道区材料的电学性质测试中的应用和制备方法。该器件包括：衬底；第一绝缘层，设置在所述衬底的表面；沟道区，设置在所述第一绝缘层上；漏极，设置在所述第一绝缘层上且与所述沟道区的一端电性接触；源极，设置在所述第一绝缘层上且与所述沟道区的另一端电性接触；第二绝缘层，设置在所述源极的顶部和所述漏极的顶部；以及离子液体栅极，包括设置在所述第一绝缘层上且与所述源极和所述漏极绝缘的门电极，以及覆盖所述沟道区的至少一部分和所述门电极的至少一部分的离子液体。该器件具有提高的沟道区可调节的电子浓度以及很小的漏电流，甚至没有漏电流，非常适合应用于沟道区材料的电学性质测试中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 离子 液体 栅极 器件 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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