[发明专利]一种高线密度CGH制作精度的测量方法及系统在审
| 申请号： | 202010338653.6 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113553735A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王若秋;白莹莹;张志宇;王旭;陈天宝;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/22;G01N21/84 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明光学检测技术领域，提供了一种高线密度CGH制作精度的测量方法及系统，包括：获取理想的计算全息元件CGH的结构参数和制作的CGH的结构参数；建立CGH的理想结构模型和实测结构模型；对上述理想结构模型和实测结构进行坐标轴离散化，分解为单元网格，取衍射光学元件的近场物理场分布情况；基于惠更斯原理推算远距离传播后的远场波前分布，对所述制作的CGH因制作误差引起的远场波前误差进行拟合计算RMS数，以计算其制作精度。本申请提供的方法能够更加准确地分析制作误差对高线密度CGH的波前精度的影响及更加准确测量出不同参数CGH的制作精度，有利于推进实际工程应用当中高陡度、大偏离量非球面检测技术与加工技术的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密度 cgh 制作 精度 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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