[发明专利]一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置在审
| 申请号： | 202010338959.1 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111421497A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 瞿新龙;卫裕;余文杰;周正平 | 申请（专利权）人： | 上海联谊光纤激光器械有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00;F16H37/12 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置，涉及精密调节技术领域。本发明包括基于X向的前后平移机构、基于Y向的左右平移机构、基于θZ向的旋转机构、基于θX向或θY向的摆动机构、基于Z向的升降机构、整体行走机构；第一高精度滚珠丝杆副作传动机构、第二高精度滚珠丝杆副作传动机构、第一高精度涡轮蜗杆机构、第二高精度涡轮蜗杆机构、坦克车分别经电脑发指令实现轴运动、定位、反馈的功能控制。本发明填补了大型负载机构超高精度运动调节装置的空白，相较于目前市面上的um量级高精度五维运动调节装置，本装置的负载能力远远胜出，微调精度达到um量级，可以胜任大型装置精密测量的承载和微调工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 承载 能力 超高 精度 运动 调节 装置 | ||
【主权项】：
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