[发明专利]一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法在审
| 申请号： | 202010339529.1 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111443062A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 尹飞;汪韬;闫欣;高贵龙;何凯;田进寿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/25;G01N21/17 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法，解决现有半导体折射率变化测量方法，无法满足对脉冲入射及脉冲响应特性检测需求的问题。该装置包括高功率脉冲激光器、第一分束镜、脉冲X射线激励单元、探针光调控单元、第二分束镜及信号读出单元；第一分束镜位于脉冲激光器的出射方向，将脉冲激光器产生激光光束分为A光束和B光束；脉冲X射线激励单元位于A光束出射方向，对脉冲激光产生X射线，探针光调控单元位于B光束的出射方向，产生探针光，探针光和X射线同时到达半导体超快探测芯表面；X射线对半导体超快探测芯片折射率进行调制，进而改变探针光的光谱强度；信号读出单元探测探针光光谱强度变化，获得芯片对X射线的响应过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 瞬态 折射率 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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