[发明专利]一种气溶胶的原位检测方法在审
| 申请号： | 202010340998.5 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111689462A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张昱;刘强;崔成强;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y30/00;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 刘敦枫 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气溶胶的原位检测方法，使用由依次连通的制备装置(3)、激光粒度仪(5)和收集装置(6)组成的制备系统。将所制备纳米材料的本体放入纳米材料的制备装置(3)，通入气体,对制备装置(3)施加条件，使其制备纳米材料，随气体的通入，所制备的纳米颗粒随气体进入激光粒度仪，进行纳米颗粒粒度分布的检测，被检测的纳米颗粒随气体被带入到收集装置中，沉积到收集装置的基底上，从而得到了粒径和粒度分布可控的高纯度纳米材料。此方法可以简便快捷地获得粒径可控的纳米材料，大大减少了纳米材料的制备和检测工艺流程，也减少了测试过程中其他因素的干扰，从而获得纯度较高的纳米材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气溶胶 原位 检测 方法 | ||
【主权项】：
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