[发明专利]衍射光学元件的检测系统及方法在审
| 申请号： | 202010341556.2 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111879500A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 陈展耀;郑祺;戴书麟;刘风雷 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐正瑜 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种衍射光学元件的检测系统及方法，检测系统包括：光源、分束部、固定部和检测部，光源用于向分束部发射线偏振光；分束部用于将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光；固定部用于固定待测衍射光学元件；检测部用于接收衍射光束，以对待测衍射光学元件进行检测，其中，衍射光束为待测衍射光学元件对两束线偏振光进行衍射形成的光束。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE，一方面可以提高对DOE的检测效率，另一方面，无需将DOE放置两次，可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性，从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江水晶光电科技股份有限公司，未经浙江水晶光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010341556.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
