[发明专利]含有仿生十字梁传感器的空气流速传感装置及其制备方法有效
| 申请号： | 202010342957.X | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111474381B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;赵宇锋;侯涛;刘富;刘云;王跃桥;王柯;宋阳 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含有仿生十字梁传感器的空气流速传感装置及其制备方法，所述仿生十字梁传感器包括：衬底，所述衬底上设置有通孔以及位于所述通孔边缘的第一压敏电阻、第三压敏电阻、连接焊接点V1、连接焊接点V2、连接焊接点GND、连接焊接点VCC；所述通孔内设置有可形变的十字梁，所述十字梁上设置有第一仿生梳齿缝结构、第二仿生梳齿缝结构、第二压敏电阻以及第四压敏电阻。通过检测惠斯通电桥的电压可以得到空气的流速。由于应力集中效应，使应力集中于仿生梳齿缝结构的周围区域，因此仿生梳齿缝结构的周围区域受力更大，仿生梳齿缝结构边缘的压敏电阻产生的变化更大，含有仿生梳齿缝结构的十字梁传感器具有更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 仿生 十字 传感器 空气 流速 传感 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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