[发明专利]厚膜光波导及其制造方法有效
| 申请号： | 202010343495.3 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111596406B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 何来胜;朱继光;王琬箐 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/13;G02B6/122 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种厚膜波导的制造方法。所述厚膜光波导的制造方法包括如下步骤：提供一基底；进行多次循环步骤，形成沿垂直于所述衬底的方向排布的多个子波导层、以及沿垂直于所述衬底的方向排布、且覆盖于所述子波导层侧壁的多个子填充层；所述循环步骤包括：沉积一波导芯层于所述基底表面；刻蚀所述波导芯层，形成贯穿所述波导芯层的沟槽，残留的所述波导芯层作为一子波导层；形成子填充层于所述沟槽内，并以所述子填充层的表面和所述子波导层的表面共同作为下一次循环步骤的基底表面。本发明克服了由于一次沉积较厚的波导芯层所引起的龟裂和翘曲等问题，并减小了波导传输损耗，有效改善了厚膜光波导的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 厚膜光 波导 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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