[发明专利]一种再生晶圆生产用切片装置在审
| 申请号： | 202010345755.0 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111605091A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 顾骏 | 申请（专利权）人： | 顾骏 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 陈飞 |
| 地址： | 241200 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆切片技术领域，尤其是一种再生晶圆生产用切片装置，针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题，现提出以下方案，包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台，所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架，且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁，两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框，所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候，只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触，进而继续下降完成切割，当刀片将切过后的晶圆卡接在内部的时候只需向下拨动两个拨动杆即可将晶圆向下弹出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 再生 生产 切片 装置 | ||
【主权项】：
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