[发明专利]测试数据传输稳定性的方法和光刻设备在审

专利信息
申请号: 202010350842.5 申请日: 2020-04-28
公开(公告)号: CN111552661A 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 张开宇 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
主分类号: G06F13/42 分类号: G06F13/42;G06F13/16;G03F7/20
代理公司: 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 代理人: 贾玉姣
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出了一种测试数据传输稳定性的方法和光刻设备,该方法包括:述主机端检测到测试启动指令,循环执行以下步骤;主机端将存储在第一专用内存空间的传输数据发送给FPGA板卡端;主机端读取所述FPGA板卡端接收到的传输数据,并将读取的传输数据存储在第二专用内存空间中,其中,第二专用内存空间与第一专用内存空间的大小相同;主机端比较所述第二专用内存空间与第一专用内存空间的传输数据,确定数据传输的正确性。本发明实施例的测试数据传输稳定性的方法通过设置第一专用内存空间和第二专用内存空间,在进行数据传输时,比较两个内存空间的传输数据,确定传输数据的正确性,实现对数据传输稳定性的测试。
搜索关键词: 测试 数据传输 稳定性 方法 光刻 设备
【主权项】:
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