[发明专利]一种适合石墨烯生长的衬底材料及其制作方法在审
| 申请号： | 202010351162.5 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111515792A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 周志豪;杨柳;施明向;李志宇 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/16 | 分类号： | B24B9/16;B24B37/04;B28D5/04;C30B29/20;C30B33/02;H01L21/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 362411 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适合石墨烯生长的衬底材料及其制作方法，包括以下步骤：1)对蓝宝石晶体进行切割，形成蓝宝石片状体毛坯；2)将所述蓝宝石片状体毛坯进行研磨，形成蓝宝石片状体半成品；3)将所述蓝宝石片状体半成品进行倒角、退火和抛光，获得适合石墨烯生长的蓝宝石片状体成品。采用上述技术方案后，加工流程切割研磨抛光各自优化参数作业下，加工良率可获得直通良率为97％以上；外延波长均匀性可收敛至std1.5比例达到95％以上；能够避免生长石墨稀时不因衬底局部型变或全区域型变造成质量不稳定的事情发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适合 石墨 生长 衬底 材料 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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