[发明专利]多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺有效
申请号: | 202010351447.9 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN111498853B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 曾晓国;万烨;张晓伟;张伟;严大洲;路向飞;刘允许 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁文惠 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺。该裂解工艺包括:对多晶硅生产副产氯硅烷高沸物进行过滤以去除其中的无定形硅,得到净化高沸物;利用催化剂对氯化氢和净化高沸物进行裂解,得到裂解产物体系,其中催化剂包括大孔树脂和负载在大孔树脂上的有机胺,有机胺选自三正丁胺、三正辛胺和N、N‑二甲基苯胺、双十八烷基仲胺和全氟三乙胺中的任意一种或多种。催化剂中作为载体的大孔树脂的骨架与氯硅烷高沸物相容性高提供更多的反应界面,骨架上负载的有机胺在微孔内富集,使树脂内外表面反应更彻底,可提高转化率,降低热解温度。该催化剂可循环使用。进入大孔树脂前过滤将多晶硅生产副产中的无定形硅去除,避免堵塞树脂孔隙。 | ||
搜索关键词: | 多晶 生产 副产氯 硅烷 高沸物 裂解 工艺 | ||
【主权项】:
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