[发明专利]静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 202010351741.X | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111538154B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 李伟;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 贺妮妮 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法，微镜阵列包括：N个静电驱动MEMS微镜及隔离槽；每个微镜包括：由可动镜面及固定支撑结构形成的可动微光反射镜结构；位于可动微光反射镜结构下方的可动平台结构；上梳齿结构及下梳齿结构，下梳齿结构的一侧形成有第一上电极引线槽及电极隔离槽；带有运动空间的基底，基底上形成有第二上电极引线槽和下电极引线槽，第一、二上电极引线槽对齐贯通形成上电极引线槽；镜面反射层及焊盘。将可动微光反射镜结构设置于微驱动器的上方，可以达到很高的占空比，可实现大尺寸大转角可动微光反射镜结构的制作；工艺简单可控，可适于大规模生产，并且可动微光反射镜结构的形状、厚度等可灵活选择，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 mems 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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