[发明专利]一种适用于生产二代高温超导带材的工艺方法在审
| 申请号： | 202010352055.4 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111485213A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 赵跃;武悦;洪一鸣;姜广宇;朱佳敏;丁逸珺;金之俭 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司;上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/56;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于生产二代高温超导带材的工艺方法，包括以下步骤：S1、将具有双轴织构缓冲层的金属基带放入镀膜腔中；S2、采用原位沉积方法，通过多个离子枪对镀膜腔中的金属基带表面进行超导薄膜的喷射沉积，所述金属基带位于所述离子枪上方，所述离子枪下方设置靶材；S3、对沉积有超导薄膜的金属基带进行吸氧处理，使超导薄膜由非超导相转化为超导相，得到二代高温超导带材。本发明的工艺方法中，超导薄膜通过多源离子枪喷射沉积技术方案实现，可以灵活地调节离子束功率，具有低成本，高镀膜效率，高均匀度，可镀大面积膜，工艺控制更加简单等优势，适用于工业大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 生产 二代 高温 超导 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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