[发明专利]基于矩阵光学计算的非接触式镜面间隔测量方法有效
申请号: | 202010352774.6 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN111487041B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 罗晓霞;孙金霞;孙强;赵建 | 申请(专利权)人: | 长春精仪光电技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130000 吉林省长*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于矩阵光学计算的非接触式镜面间隔测量方法,该方法如下:利用探测器探测两路反射光的干涉信号;确定测量臂光路中位置参数候选区域;在位置参数候选区域内确定被测镜组测量的最佳位置参数并在该位置参数下对被测镜组中所有透镜的厚度及表面的空气间隔进行测量。本发明针对任意镜面数的可见光光学系统间隔测量,都可以自动且快速的寻找出最佳的测量头透镜间距和工作距离,能够均衡所有被测镜面的能量最大化,大大提高了间隔测量的工作效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 基于 矩阵 光学 计算 接触 式镜面 间隔 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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