[发明专利]一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器和软聚焦方法在审
| 申请号： | 202010353065.X | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111430215A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 沈成银;邹雪;李爱悦;王鸿梅;黄超群;储焰南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 邓治平 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器和软聚焦方法，包括电离源、入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极和直流电源；所述的屏蔽网电极中心有开孔，开孔左侧面被导电网封闭，右侧敞开；所述的多片屏蔽网电极右侧敞开口径从大逐渐缩小，形成漏斗状；所述的入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极之间采用绝缘密封垫片隔开，形成中空的离子化器腔；本发明的离子聚焦方法是通过在一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器内形成逐步软聚焦引导电场，产物离子可被高效聚焦引导并保持低电场软电离效果，具有很高的离子透过效率和软电离效果，不需要额外射频电源，在体积、功率、重量、成本等方面更有优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 电极 聚焦 离子化 方法 | ||
【主权项】：
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