[发明专利]掩膜版及其制造方法、复合型掩膜版、真空干燥装置有效
| 申请号： | 202010353955.0 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111516399B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 卢海秋;汪国杰 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜版，所述掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，所述掩膜版上设有若干通孔，每一所述通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述第一表面和所述第二表面上涂布有超疏水材料。本发明提供的掩膜版应用于真空干燥装置中，在真空干燥装置对打印有墨水的面板进行真空干燥的过程中，能够阻挡粘附在真空干燥装置的腔室的顶部的溶剂液滴滴落至面板，避免了面板上形成的薄膜不均匀的情况发生，改善了显示面板的显示效果。本发明还提供该掩膜版的制造方法、具有该掩膜版的复合型掩膜版及具有该掩膜版或该复合型掩膜版的真空干燥装置。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 及其 制造 方法 复合型 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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