[发明专利]具有低密度热屏障的存储器装置在审
| 申请号： | 202010356225.6 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111883654A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 郑鹏园;D·R·埃科诺米;Y·J·胡;K·H·庄;R·K·格拉布斯 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;G11C13/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种具有低密度热屏障的存储器装置。所述热屏障(例如，低密度热屏障)可定位于存取线(例如，数字线或字线)与单元组件之间。所述热屏障可通过对屏障材料应用等离子体处理形成于所述屏障材料的表面上。所述热屏障可具有比所述屏障材料低的密度，且可经配置以使所述单元组件与所述存储器装置中生成的热能热绝缘，以及其它益处。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 密度 屏障 存储器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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