[发明专利]一种含稀氮化合物的红外探测器外延片在审

专利信息
申请号: 202010356991.2 申请日: 2020-04-29
公开(公告)号: CN111524996A 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 黄珊珊;黄辉廉;丁杰;杨文奕 申请(专利权)人: 中山德华芯片技术有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105;H01L31/0352;H01L31/0336;H01L31/18
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 冯炳辉
地址: 528437 广东省中山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种含稀氮化合物的红外探测器外延片,包括InP衬底,在所述InP衬底上按照层状叠加结构依次设置有n型InP缓冲层、本征GaInNAs吸收层、p型InP层、p型InGaAs欧姆接触层。本发明通过引入与InP衬底相匹配的稀氮化合物GaInNAs(即本征GaInNAs吸收层)获得延伸波长且延伸波长可调节的红外探测器外延片,满足对波长向长波方向扩展红外探测器需求。
搜索关键词: 一种 氮化 红外探测器 外延
【主权项】:
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