[发明专利]压电声学传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010357080.1 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113573218B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 冯志宏;姚丹阳;徐景辉 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 颜晶 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压电声学传感器及其制造方法，属于电子技术领域。该压电声学传感器包括：锚定单元、压电单元、支撑单元和镂空结构件。锚定单元中形成有背腔。压电单元用于将进入该背腔的声信号转为电信号。支撑单元覆盖于锚定单元和压电单元上。镂空结构件连接于锚定单元与压电单元之间，且内嵌于支撑单元中。本申请中的压电单元的残余应力在制造过程中可以通过可形变的镂空结构件释放，实现零残余应力，因而可以避免压电声学传感器的谐振频率漂移，以及避免压电声学传感器的灵敏度下降，进而有助于提高压电声学传感器的性能一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 声学 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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