[发明专利]一种定向无源自驱动薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010360444.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111606298B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王萌;王宁;仇明侠;何铁锋;张良静;项炳锡;王蒙 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种定向无源自驱动薄膜及其制备方法。所述定向无源自驱动薄膜的制备方法，包括步骤：在基底上沉积金属薄膜；采用激光刻写技术在金属薄膜上刻写定向无源自驱动图案；对刻写有定向无源自驱动图案的金属薄膜进行湿法刻蚀，得到定向无源自驱动薄膜；所述定向无源自驱动图案包括多个首尾连接的定向无源自驱动图案单元；每个所述定向无源自驱动图案单元包括：宽度逐渐增大的驱动区、与所述驱动区连接且宽度逐渐减小的收缩区，其中所述驱动区的长度比所述收缩区的长度长。本发明通过激光刻写技术结合湿法刻蚀方法，制备得到具有悬切边缘的定向无源自驱动薄膜，整个制备过程不需要掩模，制备工艺十分简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定向 源自 驱动 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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