[发明专利]一种黑硅制绒片的清洗方法有效
| 申请号： | 202010361624.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111554776B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 徐卓;王红芳;李倩;张春旭;李锋;史金超;尚琪;陈志军 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/02;H01L21/67;C11D7/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝晓红 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开一种黑硅制绒片的清洗方法。所述黑硅制绒片通过金属离子诱导的黑硅制绒技术得到；所述清洗方法为：依次用臭氧水溶液、纯水、混合酸溶液、纯水、臭氧水溶液、纯水对硅片进行浸泡处理，然后烘干；所述混合酸溶液由质量浓度为40‑49％的氢氟酸溶液和质量浓度为37‑40％的氟酸盐溶液按2‑10:1的体积比混合而成。本发明的清洗方法可控制绒面的光反射率，提升光电转化效率，最终在经过微修整的绒面表面可形成一层极薄的氧化硅膜，对硅片表面具有显著的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黑硅制绒片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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