[发明专利]一种金属纤维增强复合薄膜的原位制备方法在审
| 申请号： | 202010363528.0 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111501010A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 吉小超;马天;康越;黄献聪;王刚;刘凯峰;龙知洲 | 申请（专利权）人： | 军事科学院系统工程研究院军需工程技术研究所 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/50;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 吴爱琴 |
| 地址： | 100010 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属纤维增强复合薄膜的原位制备方法。利用等离子体辅助化学气相沉积方法与碳等离子体的催化作用，在溅射生成薄膜的同时反应生成金属纤维(银、铜、铝、锡、铂等)，从而实现金属纤维增强复合薄膜的原位制备。该方法实现了一维金属纤维的溅射合成与纤维增强复合薄膜的原位制备，该复合结构能够调节薄膜中的应力状态与薄膜韧性，同时赋予薄膜优异的导电、减磨等性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属纤维 增强 复合 薄膜 原位 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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