[发明专利]一种金属离子源发射装置有效
| 申请号： | 202010363614.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111668080B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;王国梁;欧阳晓平;罗军;庞盼;陈琳;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张琳丽 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属离子源发射装置，包括密封连接的陶瓷筒、引出电极室和三个并排设置的阴极，触发电极固定在陶瓷绝缘电极上，阴极靶材固定在间接冷却通道上，限位电极固定在固定电极上，固定电极通过螺扣将间接冷却通道固定在阴极冷却管上，阴极冷却管固定在阴极法兰上，触发接线柱通过导线和触发电极相连；引出电极室中位于阴极正下方设置有引出电极和加速电极，加速电极和引出电极上均设置有引出缝隙。该金属离子源发射装置，能够在一个阳极的情况下，同时让3个阴极进行工作，增大了离子源的照射面积，提高了工作效率、能源利用率；发射源更加紧凑，处理面积更大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 离子源 发射 装置 | ||
【主权项】：
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