[发明专利]准直光束平行度及均匀度的测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202010367628.0 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111487042B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 唐延甫;韩冰;李洪雨;李俊霖;李忠明;杨永强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开一种准直光束平行度及均匀度的测量系统及测量方法，其中的测量方法包括：S1、将测量系统置于被测准直光束前；S2、控制测量系统沿水平方向和垂直方向进行扫描；S3、识别被测准直光束的光斑，寻找被测准直光束的有效成像区域的边缘位置，拟合出被测准直光束的成像截面区域；S4、在被测准直光束的成像截面区域内选取数据扫描点，确定路径规划；S5、遍历路径规划中的每个数据扫描点，识别被测准直光束在每个数据扫描点位置的光斑，计算光斑的图像灰度均值及图像质心坐标；S6、根据光斑的图像灰度均值及图像质心坐标计算被测准直光束的平行度与均匀度。利用本发明能够实现均匀度与平行度的同时测量，还能够测量大尺寸光束的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 平行 均匀 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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