[发明专利]MEMS微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质在审
| 申请号： | 202010367849.8 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111562667A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 余晖俊;沈文江;黄艳飞;李小光;史庆刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;但念念 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质，所述驱动控制方法包括：获取MEMS微镜的当前环境温度；根据温度与目标电压值的对应关系计算MEMS微镜在当前环境温度下的目标电压值；获取MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值；判断当前电压值与目标电压值之间的差值是否大于预定的电压阈值；若大于，则调整MEMS微镜的驱动信号，以使得差值小于电压阈值。本发明根据MEMS微镜的当前环境温度来获得目标电压值，通过比较MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值与目标电压值之间的大小来判断是否需要对MEMS微镜的驱动信号进行调整，从而在实时监测MEMS微镜的偏转角度的同时考虑环境温度对MEMS微镜的偏转角度的影响，以实现对MEMS微镜的偏转角度的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | mems 驱动 控制 方法 装置 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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