[发明专利]一种MEMS器件及其加工方法有效
| 申请号： | 202010368582.4 | 申请日： | 2020-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN111498793B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邹波;陈义洋 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS器件及其加工方法，包括可动组件，所述可动组件的表面依次设置有电介质层和疏水层。所述MEMS器件的加工方法，包括：形成可动结构层，所述可动结构层包括可动组件；沉积电介质层；沉积疏水层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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