[发明专利]光致抗蚀剂组合物和用此类组合物形成抗蚀剂图案的方法在审
| 申请号： | 202010371226.8 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111913351A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | T·马兰戈尼;李明琦;朴钟根;E·阿卡德;侯希森;J·F·卡梅伦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;钱文宇 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
公开了一种光致抗蚀剂组合物，其包含具有C |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 形成 抗蚀剂 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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