[发明专利]脉冲激光振荡器及脉冲激光输出方法在审
| 申请号： | 202010371810.3 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111987573A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 河村让一;田中研太 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;B23K26/0622;B23K26/382 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无需对脉冲波形进行高速采样即可降低脉冲波形的偏差的脉冲激光振荡器。在腔室内填充有包含二氧化碳及氦的激光气体。一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在腔室内产生放电。在上述脉冲激光振荡器中，设定激光气体的压力、激光气体中的氦气的浓度及一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 振荡器 输出 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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