[发明专利]一种频率可调的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202010374019.8 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111628749A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/15;H03H9/13;H03H9/02;H03H3/007;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括：衬底、底电极、调谐层、压电层以及顶电极，所述底电极设置在衬底的上表面，所述调谐层设置在所述底电极的上表面，所述压电层设置在所述调谐层的上表面，所述顶电极设置在所述压电层的上表面，所述底电极和所述顶电极均连接有电极引出结构以在所述顶电极和所述底电极之间施加直流偏压，所述调谐层的有效面积大于所述顶电极的有效面积且大于所述底电极的有效面积。该谐振器在底电极上加入调谐层，从而在现有电路的基础上集成一个可变电容，外加直流偏压时压电层产生形变，通过偏压调整形变量从而控制可变电容的大小，在减小对FBAR品质因数影响的同时，实现对FBAR谐振频率的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频率 可调 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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